真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子槍加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD激光濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。
常見的幾種故障處理方法:
一、檢測不到掩膜夾具翻轉信號:
1、檢查翻面信號源位置
2、將翻面輸入信號人工短接,使用翻面檢測功能,計算機能檢測到信號時,證明問題在翻面控制開關上,根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路,然后更換控制卡。
二、掩膜夾具翻轉不穩定:
1、檢查翻板的初始位置是否符合時機
2、檢測翻面控制開關工作是否穩定,可用指針萬用表跟蹤監測。
3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠
4、檢查翻面信號次數設置
5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象
6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩定性
三、在同一掩膜夾具頻率散差大:
1. 檢查晶片本身是否散差大
2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節修正板
3.檢查一下擋板在開、關時是否全遮擋住鉬舟
4.檢查一下轟擊環是否完遮擋住鉬舟
5.檢查鉬舟使用是否符合要求,要采用圓形鉬舟